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了解真空磁控溅射镀膜技术中的等离子体形成

发布时间:2022-02-26  点击次数:344 次
  在真空磁控溅射镀膜技术中的等离子体,一般是电场作用下通过工作气体放电形成的。构成分子的原子获得很大的的动能,开始彼此分离,原子的外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子,失去电子的原子变成正离子,这一过程叫电离。
  等离子体是一种电离气体,是离子、电子和高能原子等的集合体;正离子和电子总是成对的出现,总数大致相等,整体呈准电中性,它是一种由带电粒子组成的电离状态,称为物质的第四态-等离子态。
  对气体放电形成等离子体施加电压或电场,伴随导电离子、粒子、电子等的移动,在等离子体中会流过电流,这就是等离子体的导电性。
  在气相沉积过程中,工作气体和靶材金属原子被高能电子撞击电离为由电子、气体离子和金属离子等导电粒子组成的等离子体。
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